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2009年成立至今十余年行業(yè)經(jīng)驗
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凈化工程潔凈技術發(fā)展概述

發(fā)布時間:2023-03-09 19:17:24 人氣:2716

凈化工程潔凈技術是一個新興的科學技術領域,是跨學科、跨部門、跨學科的綜合性科技新分支。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。凈化車間優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。它與許多行業(yè)和學科密不可分,具有自己獨特的特點。我們必須學習和吸收各行業(yè)、各學科的成就、經(jīng)驗和優(yōu)勢。善于根據(jù)自身特點,充分發(fā)揮和積極調(diào)動各領域的科技人員。

與其他高技術一樣,凈化工程技術的誕生和初步應用服務于軍事目的。在第二次世界大戰(zhàn)中,一些槍支、坦克、飛機等使用的儀器經(jīng)常失效。開發(fā)商意識到儀器生產(chǎn)和裝配環(huán)境中的空氣中粒子是罪魁禍首,于是工業(yè)潔凈室誕生了。原來的工業(yè)清洗室比較簡單。隨著原子武器研究和生化武器研究的發(fā)展,高效空氣過濾器在20世紀40年代早期得到了成功的開發(fā)和應用。20世紀60年代初,出現(xiàn)了單向流動潔凈室,這些設備和技術的誕生成為潔凈技術發(fā)展的里程碑,為現(xiàn)代潔凈技術奠定了基礎。

潔凈工程原來的潔凈標準是由美國制定的,也是使用最廣泛的。單位是帝國制度。允許粒子的最大數(shù)量為每立方英尺空氣0.5微米粉塵。另一種是國際單位,是通常使用的對值,即每立方米空氣中允許的最大粒子數(shù)0.5μm塵埃粒子。

雖然現(xiàn)代工業(yè)潔凈室仍然使用懸浮顆粒物作為主要控制對象,但在某些過程中,還提出了對空氣中分子污染物的控制要求。因此,空氣凈化技術的關鍵設備也從單顆粒過濾器發(fā)展成可以吸收有害氣體物質的化學過濾器。

微電子工業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)潔凈室應用的代表。主要產(chǎn)品有大型集成電路和平板顯示器。半個多世紀以來,集成電路發(fā)展迅速。隨著集成度的提高,構件的線寬不斷縮小。因此,氣溶膠顆粒的控制粒徑越來越小。一般認為控制粒徑應為線寬的1/10-1/3,但由于線寬越來越小,這一要求也很難滿足。微電子產(chǎn)品的快速發(fā)展對傳統(tǒng)潔凈技術提出了巨大挑戰(zhàn),也促進了現(xiàn)代潔凈技術的發(fā)展。工業(yè)潔凈室主要由空氣中的懸浮顆粒物控制,為精密機械和電子產(chǎn)品行業(yè)提供所需的生產(chǎn)環(huán)境。

20世紀60年代初是中國潔凈技術發(fā)展的開端,大約比國外晚了十年。在中國,這是一個非常特殊和困難的時期。一方面,在經(jīng)歷了三年的自然災害和經(jīng)濟基礎薄弱之后,在科學和技術方面沒有與先進國家直接接觸,也沒有必要的科學和技術數(shù)據(jù)、信息和樣本。在這些困難的條件下,中國的潔凈技術工人圍繞著精密機械、航空儀器和電子工業(yè)的需要,開始了自己的創(chuàng)業(yè)之旅。

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