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具有防靜電環(huán)境要求的凈化車間,一般使用哪些方法來消除靜電

發(fā)布時間:2023-01-17 19:17:04 人氣:3488


靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)是凈化車間最難控制(control)的因素(factor)之一,靜電會增加半導(dǎo)體(semiconductor)器件生產(chǎn)(Produce)中的廢品增多并降低(reduce)電子設(shè)備的可靠性。電子廠凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。因此,在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中,必須防止靜電對器件的作用。有許多方法可以消除靜電,對于具有防靜電環(huán)境要求的凈化車間工程,通常使用以下方法:
1、凈化車間需選用合適的材料:
凈化車間裝修要采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料,多種材料共同使用時,應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體。導(dǎo)體是電流(Electron flow)能通過的材料,絕緣體是電流不能通過的材料。
2、接地:
接地是帶電導(dǎo)體消除靜電最為普遍、經(jīng)濟(jì)、簡便、可靠的方法。
(1) 凈化車間內(nèi)可能(maybe)產(chǎn)生靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施(指針對問題的解決辦法)。電子廠凈化車間送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
(2) 電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(吊頂、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)裝飾,可以抑制塵埃的帶電吸附。
(3) 工藝設(shè)備接地。
(4)凈化車間的辦公設(shè)備應(yīng)采用能防靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)的材料制成并接地。
(5)凈化車間工作人員應(yīng)穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。
3、中和:
將帶電體(靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷))周圍的空氣離子化后,帶電的離子在電磁場(定義:傳遞實(shí)物間磁力作用的場)(electromagnetic field)作用下發(fā)生遷移,帶電體吸引異性電荷(electric charge)達(dá)到中和而消除靜電。靜電消除器是一種能產(chǎn)生電 子和離子的裝置,它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和,從而消除靜電。凈化車間的絕緣材料(合成樹脂)表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。
4、濕度控制:
在眾多消除靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)的方法中,室內(nèi)濕度控制(control)也被認(rèn)為可以用來減少和消除凈化車間靜電。GMP凈化車間GMP要求制藥、食品等生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)具備良好的生產(chǎn)設(shè)備,合理的生產(chǎn)過程,完善的質(zhì)量管理和嚴(yán)格的檢測系統(tǒng),確保最終產(chǎn)品質(zhì)量(包括食品安全衛(wèi)生等)符合法規(guī)要求。通過在環(huán)境中保持高的相對濕度,在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層,利用這一薄層來提供導(dǎo)電的通道,使得可能產(chǎn)生的電荷(electric charge)流過該濕氣層耗散靜電荷。另外,薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性,摩擦生電也將減少。一般來說,濕度越低,產(chǎn)生的電荷越多。但是資料表明,甚至在濕度高時也會產(chǎn)生顯著的靜電電壓,但是,在高濕度環(huán)境中,凈化車間生產(chǎn)人員可能會感覺十分不舒服,零部件可能生銹,并產(chǎn)生可焊性問題。同時,企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費(fèi)的,尤其在干燥地區(qū)更是如此。

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